Picosun R-Serisi,

Ar-Ge çalışmaları için Atomik Katman Kaplama Sistemleri

Piocsun R-Serisi Atomik Layer Depozition sistemleri araştırma geliştirme çalışmaları ve de pilot üretim kullanımlarına uygun olarak tasarlanmıştır. Picosun R- Serisi sistemlerde kullanılan yenilikçi reaktör yapısı sayesinde 2" den 8" kadar (50 mm den 200 mm ye kadar) waferlar üzerinde çalışılabilmektedir. Reaksiyon chamberlar, işlemler süresince uygulanacak aşındırıcı kimyasalların olumsuz etkilerine dayanıklı olabilecek malzemelerden seçilerek üretilmiştir.

Bu sistemlere arzu edilen değişik precursor kaynaklar ilave edilebilir. Ekstra reaksiyon chamberı ve malzeme yükleyici opsiyonları ve de ozon taşıma sistemleri veya nitrojen jeneratörleri de isteğe bağlı olarak ilave edilebilir.

Picosun R-Serisi kullanılarak yapılan bilimsel çalışmalardan yüzlercesine bu linkin üzerine tıklayarak, Üretici firma sayfalarından ulaşabilirsiniz.

Picosun firmasının web sitesinden de her konuda detaylı bilgi edinebilirsiniz www.picosun.com