ALD, Atomik Layer Deposition Uygulamaları

ALD ler, çok geniş alanlarda uygulama alanı bulmaktadırlar. Bunlardan bazıları şöyle sıralanabilir.

Yarıiletkenler ve Nano elektronik

• Gate Dielektrik
• DRAM
• Gate Elektrodları
• Metal Bağlantıları
• Okuma Kafaları
• Difüzyon Bariyerleri
• Multilayer Kapasitörler

Wear Resistant ( Dayanıklılık arttırma)

• Solid Lubricants
• Korozyon (Paslanma) önleme
• Kalıp ve benzer parçalarında
• Bıçak Uçlarında

MEMS Yapılarında

• Etch resistance
• Hydrofobik/antistiction

Optik

• OLED tabakaları
• Optik filtreler
• Transparan iletkenler
• Güneş pilleri
• Yansıma önleyici (Antifeflection)
• Fotonik kristaller
• Entegre optik
• UV durdurma
• Elektroiluminisans
• Renkli Kaplama

Nano yapılar

• Inside pores
• AFM uçları
• Nano tüpler

Kimya

• Kataliz
• Yakıt pilleri

Diğer Alanlar

• Nano-glue
• Internal tube lines
• Roll to toll
• Biyouyumlu malzemeler
• Manyetik malzemeler

Picosun firmasının web sitesinden de her konuda detaylı bilgi edinebilirsiniz www.picosun.com