Fotolitografi nedir ?

Litografi, kelime anlamı olarak ışıkla yazma olarak tanımlanabilir. Litografik süreçler antik mısırdan günümüze kadar bilinmekte ve de kullanılmaktadır. Yarıiletken endüstrisinin gelişmesi ile litografi süreçlerin kullanım alanları ve kabiliyetlerinde önemli gelişmeler olmuştur. Litografi ışıkla yapıldığı gibi bir elektron demetini yönlendirerek maskesiz olarak veya başka yöntemlerle de yapılabilir ancak. alternatif sistemlerin kurulum işletim maliyetleri yüksek, uygulama alanları sınırlı olduğundan genellikle araştırma amaçlı olarak kullanılırlar.. Üretim süreçlerinde çoğunlukla fotolitografi kullanılır.

Fotolitografi de en çok tercih edilen yöntem UV-litografidir. UV ışık bir maske üzerinden, bu dalga boyundaki ışığa duyarlı ve wafer üzerine serilmiş olan fotoreziste iletilir. Maskenin şekli, rezistin özellikleri ve takip eden bir takım kimyasal süreçler sonunda arzu edilen mikro veya nano şekil yarı iletken üzerine transfer edilmiş olmaktadır.

www.neutronixinc.com