NXQ 4000 Serisi Maske Hizalama Cihazları

Neutronix tarafından üretilen NXQ 4000 Serisi maske hizalama cihazları, ar-ge çalışmaları ve üretim için idealdir. Temel özellikleri aşağıdaki gibidir;

• 6" ve 8" (150 ve 200 mm) malzemeler ile çalışılabilmektedir.
• X,Y ve Teta ayarlamaları hızlı ve kolayca yapılabilmektedir.
• XY ayarlamasını joystick ile kolayca yapabilmektedir..
• HD optik ve görüntüleme kalitesine sahiptir.
• Soft/Hard Pressure, Vakum ve Manuel Proximity Contact modlarında litografi gerçekleştirilebilmektedir.
• Splitfield optik ve CCTV mikroskop ünitesi opsiyon olarak eklenebilmektedir.
• Kolayca, yukarıdan maske yüklemesi yapılmaktadır.
• Düşük bakım gereksinimine göre tasarlanmıştır.

İlave edilebilecek opsiyonlar

• Infrared (IR) Backside Alignment (BSA)
• Optical Back Side Aligment (OBS)
• Large Gap Alignment
• UV/NUV/DUV exposure optics

Ürün ve sistemler hakkında detaylı bilgiye Neutronix firmasının www.neutronixinc.com sayfasından ulaşabilirsiniz.

NXQ Firmasının 4000 Serisi ile detaylı bilgiye aşağıdaki vidyodan izleyebilirsiniz