Bu seride olan cihazlar genelde üreticiler ve araştırma geliştirme merkezleri tarafından tercih edilmektedir. Farklı özelliklerdeki cihazların ortak noktaları olarak
Multiple contact & proximity exposure modları.
8" e kadar ( 200 mm) wafer lar üzerinde çalışabilme.
6" x 6" kare malzemeler üzerinde çalışabilme.
Kolayca, üst taraftan maske yükleme ve değiştirme.
Manuel olarak malzeme tepsisi yükleyebilme.
Otomatik ayarlama.
Large Gap Alignment.
Çok değişik uygulamalar için kolayca uyarlanabilen ve ilave edilebilecek modüler tasarım.
Robotik yükleme ve otomasyon.
Optik (OBS) ve Infrared (IR) backside alignments
UV/NUV/DUV pozlama optikleri.
Bu seri ile ilgili tanıtıcı videoyu aşağıdan izleyebilirsiniz. Daha detaylı bilgiye firmanın www.neutronixinc.com adresinden ulaşılabilirsiniz.
Bu seri ile ilgili tantıcı vidyoyu aşagıdan izleyebilirsiniz. Daha detaylı bilgiye firmanın www.neutronixinc.com adresinden ulaşılabilirsiniz.